废气处理设备常见的有催化燃烧设备、活性炭吸附箱和喷淋塔。催化燃烧设备装置主要由热交换器、燃烧室、催化反应器、热回收系统和净化烟气的排放烟囱等部分组成，其净化原理是：未净化气体在进入燃烧室以前，先经过热交换器被预热后送至燃烧室，在燃烧室内达到所要求的反应温度，氧化反应在催化反应器中进行，净化后烟气经热交换器释放出部分热量，再由烟囱排入大气。但在催化燃烧设备的使用过程中难免会出现一些问题：着火和爆炸、催化氧化炉爆炸等现象。